17 一甲基三氯硅烷 methyltrichlorosilane (MTCS,M1)
18 二甲基二氯硅烷 dimethyldichlorosilane(DMCS,M2)
19 三甲基一氯硅烷 trimethylchlorosilane(TMCS,M3)
20 一甲基氢二氯硅烷 hydromethyldichlorosilane (HDMCS,M1H)
21 苯基三氯硅烷 phenyltrichlorosilane(PTCS)
22 二苯基二氯硅烷 diphenyldichlorosilicane(P2， DPCS)
23 高沸物 high boiling/heavies
24 低沸物 low boiling/lights
25 浆渣 slurry
