26 （二甲）选择性 selectivity of M2

27 三氯氢硅 trichlorosilane(TCS)

28 四氯化硅 silicon tetrachloride (STC)，

29 硅氧烷 siloxane

30 聚硅氧烷 polysiloxane

31 中间体 intermediate

32 水解 hydrolysis

33 八甲基环四硅氧烷 octamethyl cyclotetrasiloxane（ D4）

34 二甲基硅氧烷混合环体 dimethyl siloxane cyclic mixture/dimethylcyclosiloxane（ DMC）